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化學氣相沉積爐

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      C/C復合材料是一種炭纖維增強炭基體的先進復合材料,具有低密度、高比強、耐高溫(3000℃)、 摩擦磨損性能優異等特點。早期,通過試驗方法研制出的 C/C復合材料產品主要用于航空航天領域,如軍用飛機制動盤、火箭發動機噴管、燃燒室、鼻錐等關鍵部件。目前,C/C復合材料因其優異的性能,廣泛應用于現代交通、大型制造業、國家大型核能工程、現代國防建設、高溫熱防護、半導體工業、熱壓模具等領域。
      C/C復合材料制備的關鍵技術是炭纖維預制體的致密化—CVI工藝。C/C復合材料化學氣相沉積爐是CVI工藝的專用設備,是在一定的真空或惰性氣氛條件下,利用電阻發熱的原理將爐內工件加熱到一定溫度后,通入碳源性氣體,氣體在高溫下裂解后產生含碳物質,沉積于工件表面,達到組織增密的目的。
      鑒于C/C復合材料廣泛的應用領域和廣闊的市場前景,我公司研制出了目前國內最大的C/C復合材料化學氣相沉積爐(Φ2800x3600mm),主要用于大型C/C制品的化學氣相沉積,也可進行全程真空炭化處理。

      1)爐底混合性碳源性氣體進氣及氣體分配系統;
      2)爐膽內外真空度微壓差控制系統;
      3)防旋轉水冷電極結構;
      4)新型過濾裝置;

     

     

    代表業績

     

    業主:西安超碼科技有限公司
    項目類型:EP總成套
    項目產能:1300噸/年
    項目狀態:2013年投產
    技術性能:3臺Φ2800×H 3600mm沉積爐,12臺Φ1800×H3400mm的沉積爐。 最大裝載量:6.5 t,額定溫度:1060℃,均溫區溫差: ≤15℃,連續工作時間:≥300h,最大升溫速率:100℃/h,壓升率:≤0.002MPa/4h,冷態極限真空度:≤-0.1MPa。工作氣氛:天然氣、丙烯、及相應反應產物、氮氣、炭氈揮發物。

     

     

     

     

     

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